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空分分離在電子特氣制造中的應用
空分分離在電子特氣制造中的應用
空分分離技術在稀有氣體提純中發(fā)揮著關鍵作用。它基于空氣中各組分沸點差異,通過低溫精餾等工藝實現分離??諝饨泬嚎s、凈化、冷卻后進入精餾塔,在塔內反復汽化、冷凝,利用氮、氧等主要組分與稀有氣體沸點不同,逐步分離出高純度稀有氣體。該技術能高效提取氦、氖、氬、氪、氙等稀有氣體,且產品純度高、產量穩(wěn)定。隨著技術發(fā)展,空分分離工藝不斷優(yōu)化,能耗降低、效率提高,為稀有氣體在電子、照明、醫(yī)療等領域的廣泛應用提供了可靠保障。
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在低溫法空氣分離設備中,為了能使空氣溫度降低,在空分各系統(tǒng)中,需要各種換熱設備進行冷熱交換,例如:氮水預冷器、切換式換熱器、主換熱器、冷凝蒸發(fā)器、過冷器、液化器、汽化器、電加熱器等等。這些換熱設備配置在空分設備的各系統(tǒng),是空分設備實現空氣液化、氣體分離所必須的重要設備。
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